若征地行为违法，处理腾退需依特定程序进行。首先，应及时确认征地违法事实，可通过申请政府信息公开、行政复议或提起行政诉讼等方式，要求有权机关对征地合法性予以审查认定。一旦征地违法被确认，对于已实施的腾退行为，要评估其对当事人造成的损失，包括地上附着物、青苗损失以及因腾退导致的生产经营等方面的损失，并按照相关标准给予合理补偿。在腾退过程中，当事人有权要求停止违法腾退行为，并恢复土地原状或给予相应替代措施。若因违法腾退造成当事人权益严重受损，当事人可依法追究相关责任主体的法律责任，包括要求行政赔偿或通过民事诉讼要求侵权赔偿。同时，有关部门应加强监管，防止类似违法征地及腾退情况再次发生，确保土地征收等行为依法依规进行，维护当事人合法权益及土地管理秩序。

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